반도체 팹 파티클 급증 원인 추적 — GRIMM 11-D 31채널 입경분포 읽는 법
GRIMM 11-D(GRIMM DustDecoder 11-D)는 0.253~35.15㎛ 입자를 31채널로 나눠 보여 주는 휴대용 GRIMM 계측기로, 제이디에스컴퍼니(JDS Company Korea)가 국내 공급을 맡고 있습니다. 반도체 팹에서 파티클 카운트가 갑자기 늘었을 때, 31채널 입경분포는 오염이 어디서 왔는지 범위를 좁히는 단서가 됩니다.
파티클이 늘었을 때 왜 개수만으로는 부족한가요?
개수만으로는 늘었다는 사실만 알 수 있고, 늘어난 입자가 어떤 크기인지는 알 수 없습니다. 일반 파티클카운터는 0.3㎛·0.5㎛·5.0㎛처럼 몇 개 구간만 세기 때문에 미세한 공정 부산물인지, 사람·마찰에서 나온 굵은 입자인지 가르기 어렵습니다. GRIMM 11-D는 31개 크기 구간으로 나눠 보여 주므로 어느 크기대가 늘었는지가 그래프 모양으로 바로 드러납니다.
입경분포 모양으로 무엇을 먼저 의심할 수 있나요?
입경분포 모양은 오염원 후보를 크기대별로 나눠 먼저 확인할 곳을 정하는 데 쓰입니다. 아래는 현장에서 흔히 쓰는 일반적인 읽는 법이며, 실제 원인은 현장마다 확인이 필요합니다.
| 늘어난 크기대 | 변화 모양 | 먼저 볼 곳 |
|---|---|---|
| 0.25~0.5㎛ 부근 | 미세 입자 위주 증가 | 필터 누설, 공정 배기·부산물, 외기 유입 |
| 0.5~5㎛ | 중간 크기 증가 | 장비 구동부 마찰, 반송 로봇, 자재 반입 |
| 5㎛ 이상 | 굵은 입자 증가 | 작업자 동선, 방진복, 바닥 재비산 |
| 전 구간 | 동시 증가 | 차압 변화, 도어 개방, 공조 정지 |
GRIMM 11-D로 원인을 추적하는 순서는 어떻게 되나요?
추적은 이상 지점과 정상 지점의 입경분포를 비교한 뒤 같은 모양이 가장 강한 곳을 찾아가는 방식입니다.
- 이상이 난 지점에서 1~2분 측정해 입경분포를 저장합니다.
- 같은 베이의 정상 지점에서 한 번 더 측정해 두 모양을 비교합니다.
- 의심 장비·도어·필터 쪽으로 옮겨 가며 같은 모양이 가장 강하게 나오는 곳을 찾습니다.
무게 1.6kg, 크기 282×124×67mm에 배터리로 10시간 이상 쓸 수 있어 베이 사이를 옮겨 다니며 측정하기 편합니다. 유량은 1.2 L/min ±3%(ISO 21501-1)로 일정하게 유지됩니다.
측정 데이터와 시료는 어떻게 남기나요?
측정 데이터는 지점별·시간별로 저장해 원인 보고서의 근거로 남깁니다. Ethernet, USB, RS-232, Bluetooth, USB 메모리로 데이터를 꺼낼 수 있고, 47mm PTFE 필터가 내장되어 있어 포집한 입자를 따로 성분 분석에 넘길 수도 있습니다.
| 항목 | GRIMM 11-D |
|---|---|
| 측정 입경 | 0.253~35.15㎛, 31채널 |
| 개수 농도 | 0~5,300,000 개/L |
| 질량 농도 | PM10·PM4·PM2.5·PM1 등, 0~100 mg/㎥ |
| 유량 | 1.2 L/min ±3%(ISO 21501-1) |
| 무게·크기 | 1.6kg, 282×124×67mm |
| 배터리 | 10시간 이상 |
| 데이터 출력 | Ethernet, USB, RS-232, Bluetooth, USB 메모리 |
| 조달 | 조달청 등록(물품목록번호 41113903-25213938, 세부품명 입도분포측정기), 원산지 독일 |
자주 묻는 질문 (FAQ)
Q1. GRIMM 11-D는 몇 ㎛부터 측정하나요?
0.253㎛부터 35.15㎛까지 31채널로 측정합니다.
Q2. 클린룸 상시 감시에도 쓰나요?
상시 감시는 고정형 파티클카운터 여러 대로 하고, GRIMM 11-D는 이상이 생겼을 때 원인을 찾는 기준 계측기로 함께 쓰는 구성을 많이 제안드립니다.
Q3. 질량농도도 함께 나오나요?
네. 개수 농도와 함께 PM10·PM4·PM2.5·PM1 등 질량농도도 동시에 표시합니다.
문의: 제이디에스컴퍼니(JDS Company Korea) 02-3491-5217 · GRIMM 계측기 제품 페이지
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GRIMM 11-D is a portable aerosol spectrometer that sizes particles from 0.253 to 35.15 µm in 31 channels, supplied in Korea by JDS Company Korea. In semiconductor fabs, comparing size distributions between abnormal and normal points helps narrow down the source of a particle excursion.
