무선 와이파이 LTE 파티클카운터 현장보정(offset)이 필요한 이유와 실제 방법 - 수십만원대 측정기로 수천만원대 측정기와 현장 필드 보정 / 그래프 및 차트 사용 가능 - 제이디에스컴퍼니 www.jdscompany.co.kr
파티클카운터 현장보정(offset)이 필요한 이유와 실제 방법 - 그래프 / 차트사용 가능 제이디에스컴퍼니 www.jdscompany.co.kr JDS COMPANY Tel. 02-3491-5217 | dof77@naver.com | www.jdscompany.co.kr 요약 광산란 방식 파티클카운터는 입자의 굴절률·밀도·형상에 따라 측정값이 달라집니다. 출하 교정은 표준입자(PSL) 기준이므로, 현장 분진이 다르면 절대값이 어긋납니다. offset 기능이 있으면 기준계측기와 병행 측정해 현장 분진에 맞춘 보정이 가능합니다. 이를 통해 기준계측기 1대 + 보정된 저가형 다수로 라인 전체를 감시하는 구성이 성립합니다. 1. 파티클카운터 측정값이 장비마다 다른 이유 광산란(light scattering) 방식은 입자에 광원을 조사하고 산란광의 세기로 입경을, 펄스 개수로 개수를 산출합니다. 그런데 산란광의 세기는 입자 자체의 광학적 성질에 따라 달라집니다. 변수 측정값에 미치는 영향 굴절률 금속 산화물 등 굴절률이 높은 입자는 실제보다 크게 계수될 수 있음 밀도 질량농도(㎍/㎥) 환산 시 직접적인 오차 요인 형상 구형이 아닌 입자는 방향에 따라 산란 패턴이 달라짐 색·흡광 흑색 입자는 산란광이 줄어 과소 계수될 수 있음 즉 측정 오차는 장비 가격의 문제가 아니라 광산란 원리 자체의 특성입니다. 고가 장비도 같은 조건에서 같은 영향을 받습니다. 2. 출하 교정과 현장 조건의 간극 파티클카운터의 공장 교정은 통상 PSL(폴리스티렌 라텍스) 표준입자로 수행합니다. 입경과 굴절률이 균일해 재현성이 확보되기 때문입니다. 문제는 실제 측정 현장의 입자가 PSL과 다르다는 점입니다. 현장 주요 입자 특성 반도체 클린룸 저농도, 비교적 균일한 미세입자 이차전지 양극재 공정 금속 산화물 분진, 고밀도, 고굴절률 도장·코팅 공정 유기 미립자, 응집 경향 연마·절삭 공정 조대입자 비율 높음, 형상 불규칙 다중이용시설·교실 인체 유래 입자와 외기 유...